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硅表面纹理加工机的半自动制造方法

2019-01-30 来源:互联网 责任编辑:网络整理 点击:

制造机械硅表面纹理的半自动方法:专有名称
技术领域本发明中,为了提高光的区域,以减少表面反射,涉及在制备太阳能光,光电流增大的领域纹理化表面的技术单晶硅和设备“纹理”。
背景:稀释用氢氧化钠溶液(NaOH)选择腐蚀硅材料(Si)为(100),Si是因为当蚀刻方向上的四个(110)晶片的快速地址,如中国一“堆栈”的玻璃一般在tantodiferentes单硅构成已知金字塔(底部金字塔正方形)的长度的表面的正侧是在现在大多手动,所制造的单晶硅的表面上以形成一个金字塔,“雨“亮点”和“避免金字塔的篮子”多摩?或非均相的,必须被包括在晶片制造硅的“进程”氢氧化钠残留在稀溶液(NaOH)是运动正常“绒面”时间为40分钟,劳动强度高,且不稳定它会导致产品质量。
发明概述
硅表面纹理机半自动设定时间,本发明的目的是提供最佳的控制程序,工作的驱动马达的空间,进行钠用稀氢氧化硅运输篮(NaOH)的水溶液,移动,将晶片该蚀刻以形成金字塔形状,特定的程序,耦合到所述蜗杆形成由所述马达轴与驱动蜗轮的轴的端部,以驱动齿轮,臂的一个半轴齿轮,和连接actuadorla臂的托盘连接到下端的驱动器,被固定在托盘提升板,所述提升板悬挂钩,多个侧筐被安装钩篮电机的旋转后悬空硅下,稀氢氧化钠沉浸在溶液中,致动器臂的运动被驱动篮子稀氢氧化钠,SJ继电器时间,多个移动的,而电动机的控制工作的间隙,控制电路当控制电路,中间继电器J,RJ和热继电器的数量KSetup操作中的下一个步骤将交换机中,B后的发动机时,运行8分钟,8序列分钟trabajar2从发动机起动分钟,然后停止2分钟已经停止2分钟,然后工作两分钟。
直到前30分钟。C,从发动机运转开始15分钟连续运转30分钟后停止。
优点是半自动,无需手动操作,可以提高产品质量,提高工作效率。
图1是与该实用程序相关的新机制的示意图。
图2是时间控制的电路图。
详细实施
如图1所示,马达中的一个,轴3被驱动的参考,在旋转轴3所示,在旋转轴3的端部是蜗杆6与一个齿轮啮合,它被安装到轴承壳体2我们蜗杆其由齿轮6的旋转而被驱动,齿轮6连接到unabrazo致动器4的一侧上,所链接的驱动臂4托盘12的下端,托盘12被固定在升降板9是的。升降板97,导柱,通过11cestos钩连接到固定板8的弹簧10在下列安全15填充有硅晶片几个挂钩11和14被浸入在筐14中,在发动机1旋转后,驱动钠挂件稀氢氧臂4中,移动的发动机的工作空间,运动,用于通过时间用稀氢氧化钠通过篮14驱动下控制电路;.组合物K,发动机抗酸开关,继电器电路路由时间1SJ,2SJ,3SJ,4SJ,5SJ,J1继电器J2,J,接触C,和热继电器RJ,电动机基座请参考图2,中继每个绕组也??连接到保险丝RD,使用带有RJ热保护的M绕组三相电机。如图1中所示,硅机的半自动表面纹理包括一个定时控制电路和机械装置,所述蜗杆轴齿轮的螺旋端部,并且其中,所述马达驱动轴与所述从动齿轮啮合。传输,根据权利要求1被连接到传递臂的下端连接到所述传递臂和托盘,托盘被固定到提升板,所述提升板被安装在多个悬挂钩下面那里。悬浮硅填充篮被驱动以氢氧化钠的篮的稀溶液,所述驱动臂的上,下运动的旋转之后,马达浸渍于氢氧化钠的稀溶液。通过时间控制电路控制电机控制工作间隙。
,如权利要求1所述的纹理单元,中间时间继电器电路与多个SJ时间继电器中间继电器数量J,根据半自动的硅表面,其特征在于:它包括一个RJ。热继电器开关K的结构,消耗时间执行这些步骤,第8分钟马达连续运行的。B,从停止从连续的发动机启动8分钟后,2分钟后工作2分钟,你必须停止,然后两分钟后,以两分钟后工作。
直到前30分钟。C,从发动机运转开始15分钟连续运转30分钟后停止。
发明内容,半自动表面加工机通过机械装置驱动,连接到填充有机械装置的硅晶片的篮子,并提供一种浸渍在稀氢氧化篮。钠当电动机旋转时(NaOH)溶液,氢氧化钠,运动,晶片雕刻,形成角锥形状的筐稀溶液,由用于控制操作时间的电动机控制电路。硅片质量的金字塔形状,以实现最佳腐蚀建立工作差距控制程序的最佳时机
文件号H01L31 / 0236GK2613052SQ0226090
优先权日期为2002年10月22日,2004年4月21日,截止日期为2002年10月22日
发明者刘明义,赵德清,余彪,王荣富,吴小平,王越,申请人Huhong迅:交通运输太阳能有限公司的上海大学